內壓縮流程是空分設備的一種工藝流程組織方式，是相對于外壓縮流程而言的。外壓縮流程就是空分設備生產低壓氧氣，然后經氧壓機加壓至所需壓力供給用戶，也稱之為常規空分。內壓縮流程就是取消氧壓機，直接從空分設備的精餾塔生產出中、高壓力的氧氣供給用戶。該流程與常規外壓縮流程的主要區別在于，產品氧的供氧壓力是由液氧在冷箱內經液氧泵加壓達到，液氧在高壓板翅式換熱器中與高壓空氣進行熱交換從而汽化復熱回收冷量送出冷箱。　
　　目前,大型化工空分用戶和有較大液體需要量的冶金空分用戶，都采用內壓縮流程。　　
　　什么是液氧內壓縮流程，有什么特點?　
　　答：一般的空分裝置生產的氧、氮產品來自上塔的低壓氧、氮氣體，經換熱器復熱后出空分冷箱，壓力約為0.12MPa。然后再由氧氣壓縮機將它壓縮到所需的壓力（3.1MPa）供給用戶。液氧內壓縮流程是從冷凝蒸發器抽出液氧產品，經液氧泵壓縮到所需的壓力（約3.1MPa），再經換熱器復熱、氣化后供給用戶。即它是在冷箱內壓縮到所需壓力的。與原有的流程相比，有以下特點：　
　　1）不需要氧氣壓縮機。由于將液體壓縮到相同的壓力所消耗的功率比壓縮同樣數量的氣體要小得多。并且，液氧泵的體積小，結構簡單，費用要比氧氣壓縮機便宜得多。　
　　2）液氧壓縮比氣氧壓縮較為安全。　　
　　3）由于不斷有大量液氧從主冷中排出，碳氫化合物不易在主冷中濃縮，有利于設備的安全運轉。　
　　4）由于液氧復熱、氣化時的壓力高，換熱器的氧通道需承受高壓，因此，換熱器的成本將比原有流程提高。并且，在設計時應充分考慮換熱器的強度的安全性。　
　　5）液氧氣化的冷量充足，在換熱器的熱端溫差較大，即冷損相對較大，為了保持冷量平衡，要求原料空氣的壓力較高，空壓機的能耗有所增加。　
　　一般來說，空壓機增加的能耗與液氧泵減少的能耗大致相抵，或略有增加。設備費用也大體相當，或略有減少。但從安全性和可靠性方面來看，內壓縮流程有它的*性。隨著變頻液體泵的應用，產品氧氣、氮氣流量的調節非常靈活，產品純度的穩定性也較好，是目前上采用較多的流程。